コンピュータ、マイクロエレクトロニクス、情報技術の発展に伴い、電子製造産業の急速な発展が促進され、クリーンルーム技術の発展も促進されてきました。同時に、クリーンルームの設計に対するより高い要求が提示されています。

電子製造産業におけるクリーンルームの設計は、包括的な技術です。電子製造産業の無塵作業室の設計特性を十分に理解し、合理的な設計を実現することによってのみ、電子製造産業の製品不良率を低減し、生産効率を向上させることができます。

電子クリーンルームの特徴

高い清浄度レベルが求められます。風量、温度、湿度、差圧、および設備の排気がオンデマンドで制御されます。照度およびクリーンルーム断面の風速は、設計または仕様に従って制御されます。さらに、この種のクリーンルームには静電気に対する非常に厳しい要件があります。中でも、過度に乾燥した工場では静電気が発生しやすく、CMOS集積回路に損傷を与える可能性があるため、湿度に対する要件は特に厳格です。

1. 一般的に、 電子クリーンルーム の温度は約 22℃に制御し、相対湿度は 50-60%の間（特殊なクリーン作業室には関連する温度と湿度の規定があります）に制御する必要があります。このとき、静電気を効果的に排除でき、人々は快適に感じられます。

2. チップ用クリーンルーム、集積回路用クリーンルーム、およびディスク製造作業室は、電子製造産業におけるクリーンルームの重要な構成要素です。電子製品は製造および生産プロセス中の室内空気環境と品質に対して非常に厳格な要件を持っているため、主な対象は粒子と浮遊粉塵の制御です。同時に、環境の温度と湿度、外気量、および騒音についても厳格な規定が設けられています。

3. 電子製造工場のクラス 10,000クリーンルーム内の騒音レベル（空状態）：65dB(A)を超えてはなりません。

4。電子機器製造工場のクリーンルームのうち、垂直流クリーンルームの充填率は以下を下回ってはならない： 60%、また水平単一方向流クリーンルームは以下を下回ってはならない： 40%、そうでない場合は部分的な単一方向流となる。

5。電子機器製造工場のクリーンルームと室外との静圧差は10Paを下回ってはならない。また、空気清浄度が異なるクリーンエリアと非クリーンエリアとの静圧差は5Paを下回ってはならない。