ファンフィルターユニットは、一般に FFUと呼ばれ、内部のファンアセンブリと高効率ろ過材で構成された、モーター駆動の統合型空気清浄ターミナルデバイスです。

主な動作プロセス

外気は空調システムを介して目標仕様に調整され、天井の静圧プレナムに導かれ、還気と完全に混合されます。統合されたFFUファンはこの混合気流に圧力をかけ、高効率微粒子エア（HEPA）または超低微粒子エア（ULPA）フィルターを通して押し出すことで、クリーンルームスイートに層流の超清浄な空気を供給します。置換されたクリーンルームの空気は、床下換気タイルまたは側壁の還気ダクトを通って乾式冷却コイルに戻されます。乾式コイルで熱処理（冷却または加熱）を受けた後、気流は静圧プレナムに戻され、連続した閉ループのクリーンルーム空気ろ過サイクルが完了します。

この構成は、超静音のアコースティック性能と厳格な微小汚染制御が求められる施設、例えば半導体集積回路（IC）ウェハ製造、TFTディスプレイ製造、ソリッドステートドライブ（SSD）生産、および関連するマイクロエレクトロニクス用クリーンルームなどで広く利用されています。

FFUの主な特徴 

1. 位置調整が可能なモジュール式アーキテクチャ

. クリーンルームの間仕切り壁パネルは標準的な天井グリッドモジュールに対応し、特殊な構造継ぎ手を備えているため、製造ラインの変更に合わせていつでも間仕切りを再構成できます。クリーンルームのレイアウトが変更された場合でも、個々のFFUの位置を移動させることで、局所的な清浄度クラスの基準を維持できます。電源内蔵のモジュール式空気清浄デバイスとして、FFUは固定ダクトに縛られることなく、局所的な空気質の要件を満たすためにユニットを自由に再配置、追加、または撤去することができます。従来の集中型ダクト式空気供給システムでは、これほどの空間的柔軟性を提供することはできません。

2. 均一で安定した風速

. 特殊な空気均等化ディフューザを備えた設計された空気力学的流路により、フィルター面全体で均一で安定した吹き出し速度が確保されます。従来の集中型ダクトシステムと比較して、この設計により天井の給気ディフューザ間の気流の不均衡が解消されます。

3. コンピュータ化されたモニタリングと大幅な省エネ

. FFUの設置により、大規模なダクト工事の必要性が最小限に抑えられます。主外気ダクトの配管を除けば、還気の大部分は短い経路で局所的に循環するため、ダクトの摩擦とシステム抵抗が大幅に低下します。さらに、FFUの吹き出し面風速は通常、均一な 0.45±20% のプロファイルを維持するため、フィルターメディア全体の動圧抵抗が大幅に減少します。

FFUファンフィルターユニットのモーター消費電力は非常に低いです。ユニットには通常、高効率ACモーターが採用され、最適化されたファンインペラーと組み合わされています。これらは主にアルミニウム合金で作られており、二次的な微粒子発生を抑え、動作効率を高めます。従来の集中型給気システムと比較して、FFUろ過を導入することで、エネルギーを以下の割合を超えて節約できます： 40%。その結果、FFU構成の初期資本投資は高くなる可能性がありますが、継続的な消費電力の削減とメンテナンス要件の軽減により、長期的に大きな経済的リターンをもたらします。

4. プロジェクト建設スケジュールの短縮

FFUシステムは、集中空調システムによく見られる大規模な還気ダクトを必要としないため、天井懐のクリアランスが狭いクリーンルームの改修に非常に適しています。複雑なダクトの製造と設置を排除することで、クリーンルーム全体の建設スケジュールが大幅に短縮され、企業はプロジェクトの試運転を迅速化し、商業生産をより早く開始できるようになります。

5. 負圧プレナムの安全性

FFUのモーター駆動ファンが内部で自身の駆動静圧を生成するため、天井給気プレナムはクリーンルームの囲いに対して負圧で機能します。その結果、静圧プレナム内の微粒子汚染物質が正圧下でクリーンルームの作業ゾーンに下向きに漏れることはありません。

その結果、天井グリッドのシールや供給インターフェースの適合が不完全になった場合でも、漏れは正圧のクリーンルームから負圧の給気プレナムに向かって上向きに流れるため、よりクリーンで安全、かつよりシンプルな境界シールが保証されます。

6. 運用経費の削減

初期の設備投資はダクト付き集中換気システムを上回る場合がありますが、このシステムには、優れたエネルギー効率やメンテナンスフリーに近い耐久性など、明確な長期運用上の利点があります。

7. 効率的な換気性能

この設計は際立った特徴となっています。ユニットが独自の静圧を生成するため、給気静圧ボックスはクリーンルーム工場に対して負圧を維持します。その結果、静圧ボックス内の浮遊微粒子が正圧下で管理されたクリーンエリアに漏れることがなくなり、全体のシールがシンプルかつ信頼性の高いものになります。

8. 運用の柔軟性

ファンフィルター機器は電源一体型で動作するため、設置が作業スペースやレイアウトに制限されません。大規模なクリーンルーム作業場内では、実際の稼働ニーズに応じて、ユニットを特定のゾーンごとに管理・制御できます。この高い柔軟性により、空間や気流の調整が非常に簡単になります。

9。統合された風洞ダクト分岐システムにより、運転騒音と静圧損失が低減され、ファンの寿命が延びると同時に全体のファン効率が向上します。

10。機器のライフサイクルの観点から、一時的に使用を停止したユニットは取り外して適切に密閉し、安全に保管した上で、将来のクリーンルームプロジェクトで再利用またはリサイクルすることが可能です。

11。本システムは、クラス 1 からクラス 1000までの清潔度レベルを必要とするクリーンルーム向けに設計されており、超清浄な処理ラインの構築に特に効果的です。特定のプロセス要件に応じて、単体ユニットとしての配置、複数ユニットの配列、または直列接続によるクラス 100 の組立ラインの形成が可能です。

12。FFUファンフィルターユニットは複数の速度制御方式をサポートし、極めて低い消費電力で動作するため、施設における継続的な運用コストを効果的に最小限に抑えることができます。