コンピュータ、マイクロエレクトロニクス、情報技術の発展に伴い、電子製造業の急速な発展が促進され、クリーンルーム技術の発展も促進されました。同時に、モジュール式クリーンルームの設計に対して、より高い要件が提示されています。電子製造業のクリーンルーム設計は総合的な技術です。 モジュール式クリーンルーム. The clean room design of the electronics manufacturing industry is a comprehensive technology.

電子製造業の無塵作業室の設計特性を十分に理解し、合理的な設計を実現することによってのみ、電子製造業の製品不良率を低下させ、生産効率を向上させることができます。

電子クリーンルームの特徴

清浄度レベルは高く求められます。風量、温度、湿度、差圧、機器の排気は、需要に応じて制御されます。照度およびクリーンルーム断面の風速は、設計や仕様に従って制御されます。さらに、電子クリーンルームには、静電気に対する極めて厳しい要件があります。

その中でも湿度の要件は厳しく、乾燥しすぎた工場では静電気が発生しやすく、CMOSの集積に損傷を与える可能性があるためです。

一般的に、電子作業室の温度は約 22℃に制御し、相対湿度を 50-60%の間で制御する必要があります（特殊なクリーン作業室には関連する温度と湿度の規定があります）。このとき、静電気を効果的に排除でき、人々は快適に感じます。

チップ製造作業室、集積回路クリーンルーム、ディスク製造作業室は、電子製造業におけるクリーンルームの重要な構成要素です。

電子製品は、製造および生産過程において室内空気環境および品質に対する要求が極めて厳しいため、主に粒子および浮遊粉塵を主な対象として制御します。同時に、環境の温度と湿度、外気量、および騒音に対して厳格な規定が設けられています。

清浄度に影響を与える要因

クリーンルームは巨大な浄化システムとして面積が広いだけでなく、複雑な機能区画や対応する緩衝用補助室に分かれている必要もあり、これらが一体となって複雑な給気・還気システムを構成しています。

そのため、クリーンルームの清浄度が不合格となる要因は多数存在します。主なものは以下の通りです。

(1) 設計レベルと空調レイアウト

クリーンルームの設計レベルと空調レイアウトは、クリーンルームの清浄度レベルに直接関係しています。

(2) 施工レベル

プラント全体の施工品質、空調システム・給気システム・排水システムなどの保証設備の据付品質は、クリーンルームの清浄度と密接に関係しています。

(3) 気流組織

気流組織が不合理である場合、供給気流が作業エリアを完全にカバーできません。

給気口と還気口の位置が不合理であると、より高く大きな渦流が発生し、単一方向流クリーンルームの気流偏角が大きくなりすぎます。

還気グリルの開口面積の配置が不合理である場合、還気速度が速すぎて還気がスムーズに行われません。

(4) 高性能フィルター

高性能フィルターの品質問題や据付問題により、クリーンルームへ送られる空気が効果的に濾過されず、空気中に浮遊する一部のダスト粒子が濾過されないため、クリーンルームの清浄度が不合格になります。

(5) 換気回数

換気回数が不十分な場合、クリーンルーム内の汚染された空気が素早く排出されず、換気回数が低すぎるとダスト発生源の汚染を抑制できなくなります。

(6) 静圧差

静圧差が不適切であると、クリーンルームは外部の汚染物質の侵入を阻止できなくなります。

(7) エアシャワー

エアシャワー室は、クリーンルームへの入退室によって生じる汚染問題を軽減するための必須の通路として使用されます。したがって、その品質はクリーンルームの清浄度と密接に関係しています。

(8) 設備の配置

) 屋内設備の配置が不合理であると、クリーンルーム内の気流が上から下へ、中央から周囲へと流れるのが妨げられ、気流の乱れを引き起こし、汚染物質がクリーンルームから効果的に排出されるのを防ぎます。

(9) 新規設備の搬入

新規設備の搬入プロセスでは、クリーンルーム環境と外部の大気を接続する必要があります。したがって、搬入時間、設備の輸送および据付プロセスを厳密に制御する必要があります。同時に、搬入前に設備の外装を徹底的に拭き掃除・清掃しなければなりません。

(10) 化学物質

生産工程における原材料や派生物中の化学物質は一定の揮発性物質を生成し、それがクリーンルームの清浄度に影響を与えます。

(11) 清掃レベル

クリーンルームの清掃が不完全であると、室内に汚染物質が蓄積し、衛生上の死角が生じる原因となります。

(12) 人員および資材の運用

クリーンルームの稼働中、人員や資材の移動により、汚染に敏感な作業の周囲に気流の乱れが生じやすくなり、これが清浄度における主な汚染源となります。

過剰な資材の流入、作業員の多すぎる人数、不適切なクリーン服の着用はいずれも過剰な発塵を引き起こします。